产品综述
4200-SCS型半导体特性分析系统用于实验室级的器件直流参数测试、实时绘图与分析,具有高精度和亚fA级的分辨率。它提供了最先进的系统集成能力,包括完整的嵌入式PC机,Windows操作系统与大容量存储器。其自动记录、点击式接口加速并简化了获取数据的过程,这样用户可以更快地开始分析测试结果。其它一些特征使得应力测量功能能够满足各种可靠性测试的需求。
产品特征
* 直观的、点击式Windows操作环境
* 独特的远端前置放大器,将SMU的分辨率扩展至 0.1fA
* 用于高级半导体测试的新型脉冲与脉冲式I-V功能
* 集成了示波与脉冲测量功能的新型示波卡
* 内置PC提供快速的测试设置、强大的数据分析、制图与打印、以及测试结果的大容量存储
* 独特的浏览器风格的软件界面,根据器件的类型来安排测试,可以执行多项测试并提供测试序列与循环控制功能
* 内置了Stress/Measure,循环和数据分析功能,通过鼠标点击方式就可进行可靠性测试,包括5个JEDEC规范的样品测试
* 支持 Keithley590 型与 Agilent 4284/4294型C-V仪、Keithley开关矩阵与Agilent 81110脉冲发生器等多种外围设备
* 硬件由 Keithley交互式测试环境(KITE)来控制,用户测试模块功能,可用于外接仪表控制与测试平台集成,是KITE功能的扩充
* 包括驱动软件,支持CascadeMicrotech Summit 12K系列、Karl Suss PA-200和PA-300,Micromanipulator 的8860自动和手动探针台
* 支持先进的半导体模型参数提取,包括IC-CAP和Cadence BSIMProPlus/Virtuoso
配件应用
4210-MMPC-C,4210-MMPC-C型高精确三同轴线缆工具箱(用于Cascade Microtech Probers)
4210-MMPC-S,4210-MMPC-C型高性能三同轴电缆套件(配合级联微技术探头使用)
LR8028,LR:8028型成分测试夹具-优化设备测试到200V/1A
4200-SMU,4200-SMU型4200-SCS中等功率源-测量单元(100mA~100fA,200V~1uV,2W)
4210-CVU,4210-CVU型1kHz~10MHz电容电压测量单元
4210-SMU,4210-SMU型4200-SCS高功率源-测量单元(1A~100fA,200V~1uV,20W)
4200-PA,4200-PA型4200-SMU和4210-SMU远程前置放大器选件
4205-PG2型双通道脉冲发生器
4200-SCP2型双通道示波器卡
4200-SCP2HR型200MS双通道示波器卡
仪器应用
* 4225-PMU超快I-V模块
* 4220-PGU脉冲发生器单元(仅电压源)
* 4225-RPM远程放大器/开关
* 4200-SMU中等功率源测量单元
* 用于4200-SCS的4210-SMU高功率源测量单元
* 用于4200-SMU和4210-SMU的4200-PA远程前置放大器选件
* 4210-CVU 1kHz - 10MHz电容电压测量单元
* 4200-SCP2双通道示波器卡
* 4200-SCP2HR 200MS双通道示波器卡
超快I-V应用套件
* 4225-PMU超快I-V模块