说明：
薄膜热电参数测试仪是一台用来测薄膜材料电导率和塞贝克系数的一体化测试设备，设备具有测试便捷、测试范围广、以及智能化数据分析等特点，将薄膜器件的电导率和塞贝克系数测试流程简化到极致，可在高真空环境下实现100K-400K温度区间的塞贝克系数和电导率测量。测试系统如下图所示：• 电导率测试电导率测试采用四线法测量器件的电阻，电源模块输出一个设定电流，采用高精度电压表测量器件两端的电压，根据公式 可得到电导率计算公式 ，其中R为器件电阻，L为长度，S为横截面积。因此需要在软件中设置器件的长度和横截面积，软件即可自动得出材料电导率。测量电路图如下：图：电导率测试电路图• 塞贝克系数测试赛贝克测试中，测试器件跨放在热端和冷端两个平台上，采用电源给热端和冷端分别加热，并产生一个温差，采用测温仪读取样品中间两点的温差，然后使用高精度电压表来测量这两点之间的电压，根据赛贝克系数计算公式 计算得到器件的赛贝克系数，测试连接电路图如下所示： • 数据分析软件软件界面如下所示，软件分为设置，图表和数据三个界面，各界面功能介绍如下所示3.1 设置界面：用户在此界面设置和选择所有需要测试的参数和功能，界面中包含器件的三维图，用户可根据实际器件结构在界面中标注器件厚度、沟道宽度和长度，软件将自动用于电导率和塞贝克参数计算图. 用户设置界面3.2 图表界面如下所示，主要用于显示所有测试曲线结果的曲线，测试结束后可一键保存曲线图片3.3 数据界面如下所示，在数据界面显示所有测试所需查看的数据，并可一键生成数据报告• TETF-LN薄膜热电参数测试仪主要参数指标序号技术参数指标描述1用于测量薄膜材料电导率、塞贝克系数2塞贝克系数测量范围：100nV/K - 1V/K3高低温块温差调节范围：1-...